Thema dieses Buches sind verschiedene Plasmaverfahren zur gezielten Modifikation von Oberflachen und oberflachennahen Schichten fester Werkstoffe. Die Gemeinsamkeit der diskutierten Methoden besteht darin, da? das bearbeitete Werkstuck in ein Plasma eingebracht wird; den Ionen des Plasmas wird dabei die zur Implantation erforderliche kinetische Energie zugefuhrt. (09/00)
| ISBN-13: | 9780471246985 |
| ISBN-10: | 0471246980 |
| Publisher: | Wiley |
| Publication date: | 2000-10-03 |
| Edition description: | 1 |
| Pages: | 760 |
| Product dimensions: | Height: 9.901555 Inches, Length: 6.799199 Inches, Weight: 2.96080817866 Pounds, Width: 1.901571 Inches |
| Author: | André Anders |
| Language: | en |
| Binding: | Hardcover |
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